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题目内容 (请给出正确答案)
单选题
表面平垣化的方式有很多种,效果最好的方式是()
A

Ar回蚀法

B

PSG或BPSG的热回流

C

SOG回蚀法

D

化学机械抛光


参考答案

参考解析
解析: 暂无解析
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