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问答题
简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？
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考题
单选题离子注入过程是一个非平衡过程，高能离子进入靶后不断与原子核及其核外电子碰撞，逐步损失能量，最后停下来。停下来的位置是随机的，大部分不在晶格上，因而没有（）。A
电活性B
晶格损伤C
横向效应D
沟道效应
考题
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