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电子束特别适合于加工半导体材料,其主要原因是电子束加工()。
- A、加工效率高
- B、工件变形小
- C、在真空条件下进行
- D、可控性好
参考答案
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考题
填空题电子束加工设备昂贵,并需要()装置。
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