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在实验室内有应变式位移传感器、变极距电容位移传感器、变气隙式互感位移传感器、螺管式互感位移传感器、电涡流传感器、直线光栅传感器。 (1)欲测一微米级的位移,试给出三种可行方案的原理框图,并说明其工作原理。 (2)欲测一毫米级的位移,试给出两种可行方案的原理框图,并说明其工作原理。


参考答案和解析
模拟量传感器
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