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IC采用铝互连系统时,下列哪种方法可以避免Al-Si的尖楔现象:
A.在淀积的铝膜中掺入约1%Cu;
B.在淀积的铝膜中掺入约1%Si;
C.在淀积铝之前先淀积一薄层TiN薄膜;
D.在铝膜表面覆盖Si3N4。
参考答案和解析
在淀积的铝膜中掺入约 1%Si ;;在淀积铝之前先淀积一薄层 TiN 薄膜;
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