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离子束加工按其工艺原理和目的的不同可以分为三种：用于从工件上去除材料的刻蚀加工、用于给工件表面涂覆的镀层加工以及用于表面改性的离子注入加工。
参考答案和解析
(1)由于离子束可以通过光学系统进行聚焦扫描,离子束轰击材料是逐层击除原子,其流密度及离子能量可以精确控制,所以,离子束加工能够达到极高的加工精度(纳米级或亚微米级),是最有前途的超精密和微细加工方法,是纳米加工技术的基础。(2)由于是靠离子轰击材料表面来去除或注入材料,是一种微观作用,作用面积微小,所以,产生的加工应力、热变形等极小,加工表面质量好。(3)由于离子束加工是在高真空中进行,所以污染少,特别适用于易氧化的金属、合金材料及半导体材料的加工。(4)加工设备费用高、成本高、加工效率低,因此应用范围受到一定限制。
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考题
下列四个选项中，哪个是离子束加工所具有的特点（）A、加工中无机械应力和损伤B、通过离子撞击工件表面将机械能转化成热能，使工件表面熔化而去除工件材料C、工件表面层不产生热量，但有氧化现象D、需要将工件接正电位（相对于离子源）
考题
单选题下列四个选项中，哪个是离子束加工所具有的特点（）A
加工中无机械应力和损伤B
通过离子撞击工件表面将机械能转化成热能，是工件表面熔化而去除工件材料C
工件表面层不产生热量，但有氧化现象D
需要将工件接正电位（相对于离子源）
考题
单选题下面的说法中，不属于离子束加工特点的是（）A
目前特种加工中最精密、最微细的加工B
离子撞击工件表面，将机械能转换成热能，使工件表面融化、气化去除材料C
加工在高真空中进行，污染少，特别适于易氧化金属加工D
靠离子轰击材料表面原子进行加工，加工应力和变形极小
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