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单选题
MEMS的意思是（）
A

微机电系统

B

柔性制造系统

C

计算机集成制造系统

D

微电子系统

参考答案

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考题 MEMS
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考题 问答题叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？
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考题 问答题什么是MEMS？它主要包括哪几个部分？并简述各个部分的功能。
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考题 单选题MEMS加速度器件在运行时测量数据具有什么特性（）。A 动态性能好B 静态性能好C 动态误差小D 静态漂移大
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考题 问答题MEMS的定义是什么？
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