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模场直径的测量方法有()。
- A、远场扫描法
- B、可变孔径法
- C、刀口扫描法
- D、近场扫描法
参考答案
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B.狭缝曝光/微密度计扫描法
C.刃边曝光/微密度计扫描法
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E.时间阶段曝光法/微密度计扫描法
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