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微细加工中的三束加工是指（）、（）、（）

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考题 单选题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A a.离子束刻蚀、激光刻蚀B b.干法刻蚀、湿法刻蚀C c.溅射加工、直写加工
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考题 填空题微细加工中的三束加工是指（），（），（）。
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考题 判断题在微细加工时用误差尺寸的绝对值来表示加工精度。（）A 对B 错
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考题 单选题下面的说法中，不属于离子束加工特点的是（）A 目前特种加工中最精密、最微细的加工B 离子撞击工件表面，将机械能转换成热能，使工件表面融化、气化去除材料C 加工在高真空中进行，污染少，特别适于易氧化金属加工D 靠离子轰击材料表面原子进行加工，加工应力和变形极小
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考题 判断题微细加工与常规加工切削机理相同。A 对B 错
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考题 多选题下面的哪些工艺手段可以解决常规加工手段无法解决的工艺难题。（）A大面积镜面加工B小径长孔C切断加工D微细加工E螺纹加工
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考题 单选题以下加工方法中，属于复合加工的是（）A 离子镀B 镜面加工C 微细加工D 电解磨削
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考题 填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
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考题 填空题微细加工技术是指制造（）零件的精密加工技术。
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考题 填空题（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。
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