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简述非晶氢化氮化硅（α-SiNx：H）薄膜的优点及其制备工艺。
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考题
问答题薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率非常慢，因此常作为硅片定域KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜，而PECVD氮化硅薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率快。怎样才能用已淀积的PECVD氮化硅薄膜作为KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜？
考题
问答题列举非晶材料的制备方法。
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