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热氧化工艺本质上是在硅与二氧化硅 发生的硅的氧化反应。
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考题
硅钼黄光度法测定水中可溶性二氧化硅的原理为:在PH约在1.2时,钼与硅酸反应生成黄色可溶的(),在一定浓度范围内,其黄色深浅与二氧化硅的浓度成正比,于波长()nm,处测量吸光度,求得二氧化硅的浓度。
考题
单选题二氧化硅膜能有效的对扩散杂质起掩蔽作用的基本条件有哪些() ①杂质在硅中的扩散系数大于在二氧化硅中的扩散系数 ②杂质在硅中的扩散系数小于在二氧化硅中的扩散系数 ③二氧化硅的厚度大于杂质在二氧化硅中的扩散深度 ④二氧化硅的厚度小于杂质在二氧化硅中的扩散深度A
②④B
①③C
①④D
②③
考题
问答题简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。
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