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光刻工艺是按照下列（）流程顺序进行操作。
A．气相成底膜、涂胶、软烘、曝光、坚膜、显影、刻蚀、检查
B．气相成底膜、软烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、刻蚀、检查
C．气相成底膜、涂胶、软烘、曝光、显影、坚膜、检查、刻蚀
D．涂胶、软烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、检查
参考答案和解析
打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶
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考题
光刻的主要工艺流程按照操作顺序是（）。A、涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、去胶B、涂胶、前烘、坚膜、曝光、显影、去胶C、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶D、前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、去胶
考题
当新工人上岗前（）。A、应派人员对其进行各种规章制度，操作规程，工艺流程等学习和培训B、应由班长对其进行各种规章制度，操作规程，工艺流程等学习和培训C、应由师傅对其进行各种规章制度，操作过程，工艺流程等学习和培训
考题
问答题什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。
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