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多选题
影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。
A

等离子体蚀刻系统的形态

B

等离子体蚀刻的参数

C

光刻胶

D

待蚀刻薄膜的淀积参数条件

参考答案

参考解析
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