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多选题
湿法蚀刻具有以下哪些缺点（）。
A

化学药品处理时人员会遭遇的安全问题

B

反应溶液及去离子水需花费较高成本

C

光刻胶会产生附着性问题

D

蚀刻不均匀

参考答案

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