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问答题
简述先进的0.18μmCMOS集成电路工艺技术工艺步骤。
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考题
在项目工艺技术方案论证与评估中需要坚持的基本原则有（）。A、项目工艺技术必须满足项目产品或服务生成需要的原则B、项目工艺技术要适应原材料供应和其他运行条件的原则C、项目工艺技术方案要整体均衡和全面配套的原则D、项目工艺技术方案要具备先进性和经济性的原则E、项目工艺技术方案要具备一定可变更性的原则
考题
填空题集成电路制造工艺技术主要包括：热工艺、（）、光刻、清洗与刻蚀、金属化、表面平坦化。
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