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那个不是影响直拉单晶硅的电阻率均匀性的因素()
- A、分凝
- B、蒸发
- C、坩埚污染
- D、损坏
参考答案
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考题
硅提纯及制备工艺流程正确的是()。
A、石英砂-西门子法多晶硅-金属硅-直拉单晶硅B、金属硅-石英砂-西门子法多晶硅-直拉单晶硅C、石英砂-金属硅-西门子法多晶硅-直拉单晶硅D、西门子法多晶硅-石英砂-金属硅-直拉单晶硅
考题
问答题简述直拉法生长单晶硅的工艺过程,并说明每个步骤各自有什么作用?
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