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描述热氧化过程。
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考题
燃烧过程是一种热氧化过程,经过氧化反应把空气中的所含有的烃类成分有效的转化为(),其他成分如卤素或者含硫的有机物也可以转化为其他物质。A、CO2B、H2OC、SO2D、NaCIE、CO
考题
问答题列举IC芯片制造过程中热氧化SiO2的用途?
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