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混铝膜属于漫反射膜。()
此题为判断题(对,错)。
参考答案
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考题
IC采用铝互连系统时,下列哪种方法可以避免Al-Si的尖楔现象:A.在淀积的铝膜中掺入约1%Cu;B.在淀积的铝膜中掺入约1%Si;C.在淀积铝之前先淀积一薄层TiN薄膜;D.在铝膜表面覆盖Si3N4。
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