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电子束加工的装置主要包括（）和（）、（）等。

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考题 离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。
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考题 单选题电子束加工装置由电子，真空系统，（），电源等主要部分组成。A 静电透镜B 电磁铁C 离子束D 控制系统
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考题 单选题电子束特别适合于加工半导体材料，其主要原因是电子束加工（）。A 加工效率高B 工件变形小C 在真空条件下进行D 可控性好
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考题 多选题下列特种加工方法中，不能加工陶瓷、玻璃、宝石等的是（）A电火花加工B电解加工C激光加工D超声加工E水射流加工F电子束加工G离子束加工
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考题 问答题电子束加工、离子束加工和激光加工各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？
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考题 填空题电子束加工的装置主要包括（）和（）、（）等。
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考题 填空题电子束加工设备昂贵，并需要（）装置。
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