考题
下列切削加工中属于超精密加工的是( )。
A.金刚石超精密车削B.光刻加工C.超声研磨D.激光加工
考题
微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。
A、光刻B、电子束C、离子束加工D、激光束加工
考题
LIGA (光刻)工艺制造微电子芯片属于精密特种加工。()
此题为判断题(对，错)。
考题
某加工阶段的主要任务是改善零件的表面粗糙度，则该加工阶段是（）。A、粗加工阶段B、精加工阶段C、光整加工阶段D、半精加工阶段
考题
光刻电铸的最大加工厚度为（）μm。A、300B、400C、500D、600
考题
在加工阶段划分中，保证各主要表面达到成品图纸所规定的技术要求的是（）。A、精加工阶段B、光整加工阶段C、粗加工阶段D、半精加工阶段
考题
在加工阶段划分中，保证各主要表达达到成品图纸所规定的技术要求的是（）A、精加工阶段B、光整加工阶段C、粗加工阶段D、半精加工阶段
考题
下列切削加工中属于超精密加工的是（）。A、金刚石超精密车削B、光刻加工C、超声研磨D、激光加工
考题
在加工阶级划分中，保证各主要表面达到图纸所规定的技术要求（）。A、精加工阶段B、光整加工阶段C、粗加工阶段D、半精加工阶段
考题
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
考题
主要去除各种加工表面的大部分余量，并加工出精基准的加工阶段是（）A、粗加工阶段B、半精加工阶段C、精加工阶段D、精密和超精密加工阶段
考题
光刻加工主要用于（）。A、加工超硬材料B、加工工程陶瓷C、制作集成电路D、制作微型模具
考题
填空题光学光刻机主要有（）等几种。非光学光刻机主要有（）。
考题
问答题简述什么是光刻胶、光刻胶的用途、光刻对光刻胶的要求。
考题
单选题下列加工方法，能够进行光刻加工的加工方法是（）A
电子束加工B
电解加工C
电火花加工D
超声加工
考题
判断题先进集成电路加工中，主要采用投影式光刻曝光技术。A
对B
错
考题
填空题光刻包括两种基本的工艺类型：负性光刻和（），两者的主要区别是所用光刻胶的种类不同，前者是（），后者是（）。
考题
问答题什么是光刻，光刻系统的主要指标有那些？
考题
单选题某加工阶段的主要任务是改善零件的表面粗糙度，则该加工阶段是（）。A
粗加工阶段B
精加工阶段C
光整加工阶段D
半精加工阶段
考题
单选题主要去除各种加工表面的大部分余量，并加工出精基准的加工阶段是（）A
粗加工阶段B
半精加工阶段C
精加工阶段D
精密和超精密加工阶段
考题
填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
考题
单选题光刻加工主要用于（）。A
加工超硬材料B
加工工程陶瓷C
制作集成电路D
制作微型模具
考题
问答题什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。
考题
问答题光刻加工技术的基本过程通常包括哪些步骤？