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判断题
先进集成电路加工中，主要采用投影式光刻曝光技术。
A

对

B

错

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考题 填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
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