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LIGA技术的第一步骤是()。
- A、通过电铸从光刻胶三维结构上产生金属母模
- B、用光刻的方法在光刻胶上刻出微机械或微器件的三维结构
- C、用生产用模作大规模复制
- D、用母模通过电铸或塑铸方法复制许多金属的或其它材料的生产用模
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考题
填空题微细加工工艺方法主要有:(),光刻加工,体刻蚀加工技术,面刻蚀加工技术,LIGA技术,()和()。
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