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什么是焦深,焦深的计算及影响因素?
参考答案
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考题
判断题曝光波长的缩短可以使光刻分辨率线性提高,但同时会使焦深线性减小。如果增大投影物镜的数值孔径,那么在提高光刻分辨率的同时,投影物镜的焦深也会急剧减小,因此在分辨率和焦深之间必须折衷。A
对B
错
考题
单选题改变谈判结构最常用的方法是()。A
代罪羔羊法B
火力侦察法C
迂回询问法D
聚焦深入法
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