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简述化学气相沉积法的优缺点以及影响参数。 简述BaTiO3PTC陶瓷的生产工艺。
参考答案和解析
①在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而沉积固体； ②可以在大气压（常压）或者低于大气压（低压）下进行沉积。一般说低压效果要好一些； ③采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积可在较低的温度下进行； ④镀层的化学成分可以改变，从而获得梯度沉积物或者得到混和镀层； ⑤可以控制镀层的密度和纯度； ⑥绕镀性好，可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀制； ⑦气流条件通常是层流的，在基体表面形成厚的边界层； ⑧沉积层通常具有柱状晶结构，不耐歪曲。但通过各种技术对化学反应进行气相扰动，可以得到细晶粒的等轴沉积层； ⑨可以形成多种金属、合金、陶瓷和化合物层。
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考题
问答题简述气相色谱-质谱联机法中电子轰击离子源的主要优缺点。
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