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填空题
光刻的图形曝光方式有：接触式曝光、接近式曝光和（）曝光。

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考题 所谓傻瓜相机使用的曝光模式是（ ）A.光圈优先式自动曝光 B.快门优先式自动曝光 C.程序式自动曝光 D.手动曝光
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考题 根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？
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考题 将预先制好的掩膜直接和涂有光致抗蚀剂的晶片表面接触，再用紫外光照射来进行曝光的方法，称为（）曝光。A、接触B、接近式C、投影
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考题 下列有关曝光系统的说法正确的是（）。A、投影式同接触式相比，掩模版的利用率比较高B、接触式的分辨率优于接近式C、接近式的分辨率受到衍射的影响D、投影式曝光系统中不会产生衍射现象E、投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
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考题 按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。A、光学曝光B、离子束曝光C、接近式曝光D、电子束曝光E、投影式曝光
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考题 照相机的图标式自动曝光是一种（）。A、专业曝光B、手控曝光C、程序曝光D、特殊曝光
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考题 光刻加工的工艺过程为（）A、①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗B、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散C、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原
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考题 DEP是（）优先式自动曝光模式。A、景深B、速度C、包围式曝光
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考题 X线电影摄影装置的曝光方式不包括（）A、连续式B、间断式C、同步脉冲曝光方式D、曝光量自动控制式E、双向交替曝光方式
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考题 光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）A、电子束曝光技术B、离子束曝光技术C、X射线曝光技术
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考题 照相机的图标式曝光模式，是照相机按用户选择的图标编制（）。A、程序曝光B、专业曝光C、普通曝光D、自由曝光
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考题 对同一被摄对象采用若干不同的曝光量拍摄的方法称为（）。A、平均曝光法B、括弧式曝光法C、高光曝光模式D、阴影曝光模式
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考题 傻瓜照相机上的人像摄影模式实际上就是一种（）。A、大光圈的光圈先决式曝光模式B、小光圈的光圈先决式曝光模式C、高速快门的快门先决式曝光模式D、低速快门的快门先决式曝光模式
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考题 数字相机的图标式曝光模式，又称（）。A、动态曝光模式B、景深曝光模式C、偏转曝光模式D、影像程序模式
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考题 DSA设备的曝光参数通常设有（）曝光和（）曝光两种。
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考题 单选题X线电影摄影装置的曝光方式不包括（）A 连续式B 间断式C 同步脉冲曝光方式D 曝光量自动控制式E 双向交替曝光方式
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考题 单选题照相机的图标式自动曝光是一种（）。A 专业曝光B 手控曝光C 程序曝光D 特殊曝光
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考题 单选题光刻加工的工艺过程为：（）A ①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗B ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散C ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原
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考题 判断题如果光刻胶在曝光前可溶于某种溶液而经过曝光后不可溶，则这种光刻胶为正胶。A 对B 错
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考题 单选题DEP是（）优先式自动曝光模式。A 景深B 速度C 包围式曝光
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考题 问答题什么是整版接触式曝光？
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考题 单选题数字相机的图标式曝光模式，又称（）。A 动态曝光模式B 景深曝光模式C 偏转曝光模式D 影像程序模式
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考题 判断题先进集成电路加工中，主要采用投影式光刻曝光技术。A 对B 错
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考题 单选题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。A 电子束曝光技术B 离子束曝光技术C X射线曝光技术
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考题 判断题步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。A 对B 错
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考题 单选题照相机的图标式曝光模式，是照相机按用户选择的图标编制（）。A 程序曝光B 专业曝光C 普通曝光D 自由曝光
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