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填空题
电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束(),因而可获得更加精细的图样。
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考题
描述照射对电子束百分深度剂量的影响,正确的是()A、较高能量的电子束,照射野对百分深度剂量无影响B、较低能量的电子束,照射野对百分深度剂量无影响C、较低能量的电子束,较大照射野对百分深度剂量影响较大D、较高能量的电子束,较大照射野对百分深度剂量影响较大E、较高能量的电子束,较小照射野对百分深度剂量影响较大
考题
判断题离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。A
对B
错
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