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填空题
根据向衬底输送原子的方式可以把外延分为：（）、（）、（）。

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考题 判断题外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。A 对B 错
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考题 判断题通常称在低阻衬底材料上生长高阻外延层的工艺为正向外延，反之称为反向外延。A 对B 错
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