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2、MOCVD的含义

A.气相外延

B.分子束外延

C.金属有机物化学气相淀积

D.溅射


参考答案和解析
(1)液相外延:采用从溶液中再结晶原理的外延生长方法称液相外延; (2)气相外延:使化学气体中半导体成分结晶在衬底表面,从而生长出半导体层的过程; (3)分子束外延:在超高真空条件下精确控制原材料的分子束强度,并使其在加热的基片上进行外延生长的一种技术。
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