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外延工艺常用的硅源有四氯化硅 SiCl4,三氯硅烷 SiHCl3,二氯硅烷SiH2Cl2 ,硅烷SiH4,二硅烷Si2H6。请对这五种硅源外延时的生长温度高低排序?同样外延条件下,哪种源外延生长速率最快?


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