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外延工艺常用的硅源有四氯化硅 SiCl4,三氯硅烷 SiHCl3,二氯硅烷SiH2Cl2 ,硅烷SiH4,二硅烷Si2H6。请对这五种硅源外延时的生长温度高低排序?同样外延条件下,哪种源外延生长速率最快?
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考题
多晶硅可用氢气在高温(900~1100℃)下还原三氯硅烷(SiHCl3)制得。问要制备100g纯硅至少需要氢气()g,在0℃和101.325kPa下相当于()体积,又同时可产生氯化氢气体()g。(提示:SiHCl3+H2=Si+3HCl)
考题
单选题将硅砂转化成可用多晶硅的形式纰谬的是()A
四氯化硅法B
三氯氢硅法C
氯化钾法D
硅烷法
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