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问答题
什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？

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考题 简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
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考题 干法刻蚀的目的是什么？例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么？
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考题 微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A、干法刻蚀、湿法刻蚀B、离子束刻蚀、激光刻蚀C、溅射加工、直写加工D、以上都可以
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考题 单选题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A a.离子束刻蚀、激光刻蚀B b.干法刻蚀、湿法刻蚀C c.溅射加工、直写加工
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考题 问答题简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
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考题 填空题在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。
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考题 问答题为什么0.25微米以下工艺的干法刻蚀需要高密度等离子体？
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考题 问答题干法刻蚀有高的还是低的选择比？
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考题 问答题列举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点，干法刻蚀的不足之处是什么？
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考题 问答题什么是干法刻蚀？
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考题 问答题列出在干法刻蚀中发生刻蚀反应的六种方法？
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考题 填空题干法刻蚀适用于（） （粗/细）线条。
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考题 问答题湿法刻蚀和干法刻蚀的区别？
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考题 判断题干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件，例如大于3微米。A 对B 错
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考题 判断题高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。A 对B 错
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考题 问答题什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。
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