离子注入

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离子注入

参考答案

考题离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A、能量B、剂量

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考题离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A、能量B、剂量

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考题问答题简述离子注入机的各部分工作原理？

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考题问答题简述离子注入的优缺点

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考题问答题例举离子注入设备的5个主要子系统。

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考题问答题离子注入后为何退火？

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考题问答题离子注入后退火的作用是什么？

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考题名词解释题离子注入

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考题问答题扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？

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考题判断题离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段。A 对B 错

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考题填空题离子注入系统结构一般包括（）等部分。

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考题问答题简述离子注入退火目的与方法。

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考题单选题离子注入与热扩散相比，哪个横向效应小（）A 离子注入B 热扩散

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考题问答题离子注入前一般需要先生长氧化层，其目的是什么？

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考题问答题简述部分离子注入工艺的作用。

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考题问答题为何在离子注入后，需要热处理（ Thermal Anneal）的工艺？

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考题问答题离子注入表面改性

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