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离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。

  • A、能量
  • B、剂量

参考答案

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考题 对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。A、入射离子的能量B、入射离子的质量C、入射离子的原子序数D、靶原子的质量、原子序数、原子密度E、注入离子的总剂量
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考题 问答题简述部分离子注入工艺的作用。
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考题 判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。A 对B 错
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