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离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。

  • A、能量
  • B、剂量

参考答案

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考题 离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A、能量B、剂量
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考题 离子注入前一般需要先生长氧化层，其目的是什么？
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考题 例举离子注入设备的5个主要子系统。
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考题 在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。A、长度B、深度C、宽度D、表面平整度
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考题 对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。A、入射离子的能量B、入射离子的质量C、入射离子的原子序数D、靶原子的质量、原子序数、原子密度E、注入离子的总剂量
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考题 离子注入
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考题 什么叫离子注入，它的特点是什么？
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考题 问答题简述离子注入工艺中退火的主要作用？
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考题 判断题离子注入中高能量意味着注入硅片更深处，低能量则用于超浅结注入。A 对B 错
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考题 问答题简述离子注入的优缺点
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考题 问答题简述离子注入的原理？
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考题 问答题例举离子注入设备的5个主要子系统。
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考题 问答题离子注入后为何退火？
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考题 判断题离子注入工艺中入射离子能量低于临界能量时核阻止本领占主导，高于临界能量时电子阻止本领占主导。A 对B 错
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考题 填空题离子注入在衬底中产生的损伤主要有（）等三种。
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考题 问答题离子注入法有哪些优点？
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考题 名词解释题离子注入
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考题 问答题扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？
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考题 问答题简述离子注入退火目的与方法。
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考题 单选题离子注入与热扩散相比，哪个横向效应小（）A  离子注入B  热扩散
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考题 问答题离子注入前一般需要先生长氧化层，其目的是什么？
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考题 问答题离子注入主要部件有哪些？
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考题 判断题离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度，因而在几乎所有应用中都优于扩散。A 对B 错
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考题 问答题简述部分离子注入工艺的作用。
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考题 判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。A 对B 错
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考题 问答题离子注入表面改性
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考题 问答题离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么？
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