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16、光刻的工艺要求是: 。
A.图形完整,尺寸准确
B.套准对准,套准精度高
C.表面干净
D.具有一定的工艺宽容度
参考答案和解析
图形完整,尺寸准确;套准对准,套准精度高;表面干净;具有一定的工艺宽容度
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考题
多选题以下属于光刻工艺的为:()。A光刻胶涂覆B曝光C显影D腐蚀
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