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1、LPCVD的含义是

A．低压化学气相淀积

B．常压化学气相淀积

C．等离子体化学气相淀积

D．光化学气相淀积

参考答案和解析
正确
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考题 判断题在LPCVD中，由于hGkS，即质量转移系数远大于表面反应速率常数，所以，LPCVD系统中，淀积过程主要是质量转移控制A 对B 错
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考题 判断题LPCVD反应是受气体质量传输速度限制的。A 对B 错
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考题 填空题M1432中，“M”的含义是（），“1”的含义是（），“32”的含义是（）。
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