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填空题
用于制备超纯Si或Si3N4超微颗粒比较好的方法是（）。
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考题
超细颗粒功能制备机是先以高速气流的猛烈碰撞把颗粒超细粉碎、自动分级后，再加入需要复合的纳米或微米材料进行多种性能的捏合，使颗粒分体达到所需要的功能。使用超细颗粒功能制备机将化学药品超细粉碎后，仍容易团聚结块不易流化，而且药效易挥发。此时加入药品级的表面包覆复合剂，通过高速旋转吸附在药品的超细颗粒表面，既能防止超细颗粒团聚，又能形成一层保护膜以保护药效。
这段文字说明了“超细颗粒功能制备机”（）。
A. 解决了化学药品粉碎制备中出现的问题
B. 承担了药品从原料变成制剂的加工任务
C. 特点及它在药品粉碎以及制备中的运用
D. 设计原理及在药品粉碎和制备中的应用
考题
填空题由于O2在SiO2中的扩散率远（）于Si 在SiO2中的扩散率，所以氧化反应是由O2穿过SiO2层，在（）界面与Si原子反应。相同温度下，湿氧氧化速率（）于干氧氧化速率，是因为在SiO2中，H2O比O2有更（）的扩散率和溶解度。由于N2和Si在Si3N4中的扩散率都很（），所以很难在Si衬底上热生长Si3N4。通常在Si衬底上用（）法沉积Si3N4薄膜。
考题
单选题超细颗粒功能制备机是先以高速气流的猛烈碰撞把颗粒超细粉碎自动分级后，再加入需要复合的纳米或微米材料进行多种性能的捏合，使颗粒分体达到所需要的功能。使用超细颗粒功能制备机将化学药品超细粉碎后，仍容易团聚结块不易流化，而且药效易挥发。此时加入药品级的表面包覆复合剂，通过高速旋转吸附在药品的超细颗粒表面，既能防止超细颗粒团聚，又能形成一层保护膜以保护药效。这段文字说明了“超细颗粒功能制备机”：（）A
承担了药品从原料变成制剂的加工任务B
特点及它在药品粉碎以及制备中的运用C
设计原理及在药品粉碎和制备中的应用D
解决了化学药品粉碎制备中出现的问题
考题
填空题湿法腐蚀Si所用溶液有（）、（）等，腐蚀SiO2常用的腐蚀剂是（），腐蚀Si3N4常用的腐蚀剂是（）。
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