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判断题
离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。
A

对

B

错

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考题 判断题镜片镀减反射膜在高于200度的真空环境下，利用离子束轰击的真空镀膜技术。A 对B 错
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