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D级洁净区空气悬浮粒子只作静态监测,其监测标准为()
- A、≥0.5μm,352000
- B、≥0.5μm,3520000
- C、≥5.0μm,2900
- D、≥5.0μm,29000
参考答案
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考题
单选题微电子器件对加工环境的空气洁净度有着严格的要求。我国洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度标准GB50073-2001中,100级的含义是:每立方米空气中大于等于0.1m的悬浮粒子的最大允许个数为()A
35;B
100;C
102;D
237。
考题
填空题进入洁净室(区)的空气必须净化,并根据生产工艺要求划分空气洁净级别。洁净室(区)内空气的微生物数和尘粒数应定期监测,监测结果应()。
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