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在多晶硅电池片上用等离子体进行的化学()生产氮化硅膜是历来常用的方法。
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考题
多选题下列属于OECO电池片结构的特点有()A通过对电池片表面进行机械加工,可以得到深度约有30um的垂直的沟,机械加工后,为了消除损伤,进行了蚀刻,也有再进行纹理化的B在电池片表面的n+层上,形成很薄的氧化膜,然后再在与其上面垂直的沟的侧面制备铝电极,C因表面电极而引起的发电面积损失非常小,减反射膜性能好,电极和硅界面状态良好,可以得到高的转换效率D为了钝化和防止反射,用PECVD法形成SiN膜
考题
填空题等离子增强反应沉积中,由于等离子体中()、()和()相互碰撞,可以大大降低沉积温度,例如硅烷和氨气的反应在通常条件下,约在850℃左右反应并沉积氮化硅,但在等离子体增强反应的条件下,只需在350℃左右就可以生成氮化硅。
考题
单选题光伏发电产业链从上游到下游,主要包括的产业链条包括多晶硅、硅片和()A
电池片及电池组件B
电池片C
电池组件D
发电机
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