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硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）

  • A、体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工
  • B、体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工
  • C、体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构

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考题 单选题硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。A a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；B b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；C c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；
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