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2、离子注入掺杂产生的基体损伤可以通过（）恢复。

A．高温退火处理

B．中温退火处理

C．低温退火处理

D．正火处理

参考答案和解析
错误
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考题 判断题球墨铸铁可以通过热处理改变基体组织，从而改善其性能。A 对B 错
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考题 单选题现代集成电路制造工艺中，主流掺杂技术为（）A 扩散B 化学机械抛光C 刻蚀D 离子注入
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考题 判断题铸铁可以通过热处理改变基体组织和石墨形态。A 对B 错
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考题 填空题离子注入掺杂剂量偏差的原因主要来源于：（）、（）和可能的（）。 例如：当作28Si+注入时，可能有真空系统中剩余气体产生的（）也会同时注入。
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