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利用激光产生等离子体源产生13nm的紫外波长进行光刻的技术为

参考答案和解析
EUV 或者 极紫外线光刻
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考题 氦氖激光产生的激光波长为：()。A.530nmB.633nmC.670nmD.790nmE.820nm
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考题 单选题氦氖激光产生的激光波长为：（）A 530nmB 633nmC 670nmD 790nmE 820nm
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考题 多选题干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。A离子、电子B中性原子C分子D自由基
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