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单选题
光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。
A

电子束曝光技术

B

离子束曝光技术

C

X射线曝光技术

参考答案

参考解析
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考题 微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
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考题 问答题光刻的曝光方式有几种？各有何特点？
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考题 问答题光刻工艺的主要流程有哪几步？什么是光刻工艺的分辨率？从物理角度看，限制分辨率的因素是什么？最常用的曝光光源是什么？
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考题 判断题如果光刻胶在曝光前可溶于某种溶液而经过曝光后不可溶，则这种光刻胶为正胶。A 对B 错
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考题 问答题列举下一代光刻技术中4种正在研发的光刻技术。
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考题 判断题先进集成电路加工中，主要采用投影式光刻曝光技术。A 对B 错
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考题 判断题曝光波长的缩短可以使光刻分辨率线性提高，但同时会使焦深线性减小。如果增大投影物镜的数值孔径，那么在提高光刻分辨率的同时，投影物镜的焦深也会急剧减小，因此在分辨率和焦深之间必须折衷。A 对B 错
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考题 问答题常见的光刻对准曝光设备有？
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考题 单选题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。A 电子束曝光技术B 离子束曝光技术C X射线曝光技术
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考题 填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
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考题 问答题列出4种曝光技术，并说明那种分辨率最高，说明各种曝光技术的优缺点。
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考题 问答题什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。
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考题 问答题光刻加工技术的基本过程通常包括哪些步骤？
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考题 多选题以下属于光刻工艺的为：（）。A光刻胶涂覆B曝光C显影D腐蚀
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