离子注入是一种重要的表面改性技术，请写出离子注入提高材料机械性能的基本原理。

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考题离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A、能量B、剂量

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考题离子注入杂质浓度分布中最重要的二个射程参数是（）和（）。

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考题离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A、能量B、剂量

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考题离子注入

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考题什么叫离子注入，它的特点是什么？

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考题填空题在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。

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