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判断题
光掩膜法成形原理上与光化学加工制备掩膜时原理类似,只是后者制备的掩膜较薄,而非立体零件。
A
对
B
错
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考题
填空题化学加工采用()制备掩膜,不仅将涂覆和刻划两道工序合二为一,而且可以做到更加细密。
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